2026年中国电子科技集团公司第四十四研究所光学镀膜机招标公告
(招标编号:GKDK-0126BH176)
项目所在地区:重庆市
1.招标条件
本招标项目光学镀膜机招标人为中国电子科技集团公司第四十四研究所,招标项目资金来自 国拨资金,出资比例为100%。该项目已具备招标条件,现对光学镀膜机进行国内公开招标。
2.项目概况与招标范围
2.1招标编号:GKDK-0126BH176
2.2招标项目名称:光学镀膜机。
2.3数量:1台。
2.4主要功能要求①设备支持减薄抛光后的6英寸晶圆镀膜,在晶圆表面镀制单层或多层
氧化物、氮化物、氟化物以及Si、Ge等光学材料;
②在≤90℃的工艺温度下实现高致密度,低吸收多层光学膜的镀制:
③设备采用多腔室配置,要求配置预真空腔、镀膜工艺腔、传送腔室等多个腔室,6英寸晶 圆装、卸采用机械手自动搬运方式,满足晶圆镀膜颗粒度控制要求;
④设备采用计算机软件自动控制,可自由编辑镀膜工艺菜单,设置各类镀膜工艺控制参数, 数据接口支持MES系统。
2.5交货地点:重庆市
2.6交货期:合同生效后180天。
3.投标人资格要求
3.l投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组 织,具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
3.2业绩要求:为保证投标设备为成熟技术生产的设备,投标人须提供从2022年1月1日 至今已签订的与本次投标同型号的设备销售业绩≥3台。须提供设备采购合同复印件,合同 内容须体现合同标的物、设备型号、数量、签订日期、甲乙双方及签字或盖章页等能反应业 绩要求的主要内容,未按上述要求提供的业绩证明不予认可。
3.3其它要求:本次招标不接受代理商投标。
3.4本次招标不接受联合体投标。
3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。
4.招标文件的获取
4.1凡有意参加投标者,请于2026年07月11日09时00分至2026年07月17日16时00 分(北京时间),将欲参加的项目名称、本单位全称、联系人姓名、联系方式及汇款凭证发送 到邮箱进行登记领取招标文件。
4.2招标文件每套售价800元,售后不退。
5.投标文件的递交
5.1投标文件递交的截止时间(投标截止时间,下同)为2026年08月03日09时30分。
5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件,招标人将予 以拒收。
联系人:彭 工
手 机:15501057535
邮 箱:zbgs555@126.com